日立环境型原子力显微镜 AFM5300E

通过采用『综合型Holder Flange开合功能』，样品和扫描器更換更为方便的同时，免去了以往环境型SPM的样品更換后的所需的光轴调整。 也省去测试模式切换时的支架更換环节。

采用了『Swing Cancel功能』，减轻了样品的浮动，降低了漂移。提高了纳米分析性能，提升了可信度。

真空环境下减轻样品表面吸附的水分和污染物的影响，因而实现高分辨高灵敏的电学性能分析。